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本文论述了表面工程特别是真空表面工程装备技术及其典型工程应用。提出以工程应用为驱动，以关键零部件为核心，以整机设计技术为支撑，以装备与工艺相结合的方法，提高表面工程装备的应用水平及其可靠性。列举了DLC膜沉积设备、离子源、真空泵等的设计技术及其工程应用的情况。
表面工程装备技术及工程应用
【摘 要】
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本文论述了表面工程特别是真空表面工程装备技术及其典型工程应用。提出以工程应用为驱动，以关键零部件为核心，以整机设计技术为支撑，以装备与工艺相结合的方法，提高表面工程装备的应用水平及其可靠性。列举了DLC膜沉积设备、离子源、真空泵等的设计技术及其工程应用的情况。
【机 构】
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真空与流体研究所,机械工程与自动化学院,东北大学,沈阳110819
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
【发表日期】
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2015年4期
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