螺旋波等离子体源诊断及其特性

来源 :第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shelllbw
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  一个螺旋波等离子体源被用于等离子体性能的研究。我们使用了朗缪尔静电探针,OES和ICCD为诊断手段研究螺旋波的性质。通过对放电气压和功率,外加磁场的控制在不同模式下测量等离子体的密度及电子温度的变化来确保螺旋波放电模式。结果为在Boswell双马鞍结构天线下获得1012cm-3量级的电子密度。
其他文献
1905年Swedbery发现液相放电可产生强大的冲击彼,人们把这种力效应称为液电效应,1948年法国F.Frungel对这种冲击波进行了测量.1955年苏联尤特金(Yutkin)把液电效应作为冲击力源,设想用于成形和破碎等机械加工[3].此后液相放电研究进入迅速发展阶段,开始研究冲击波压力与能量的关系[4].
会议
引言本文对感应耦合Ar-Hg的放电情况进行了模拟.模拟所采用的电场轮廓来源于实验测量;通过对比模拟和测量得到的等离子体参量,对放电特性进行了分析.模拟介绍本文所涉及的放电灯以Ar-Hg混合物为放电体系,放电管呈矩形,截面为圆形.
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最近几年科学和并行计算领域正经历着深刻的变化,一方面科学计算正在从只使用CPU的"中央处理"向CPU与GPU并用的"协同处理"发展,另一方面异质系统架构的计算机和处理器已经成为业界的发展方向.目前最先进的超级计算机如美国的Roadrunner,我国的天河一号A和天河二号都采用的这种架构.
会议
引言等离子体的均匀性是等离子体在工业方面应用的前提之一,圆柱形表面波等离子体源被认为在这方面具有很大的潜质.本实验以石英圆棒作为介质波导引导微波并在棒的周围激发等离子体,并传导表面波,比较在不同入射功率和压强下等离子体的密度和温度.
会议
微波与弱电离非平衡等离子体的相互作用不仅是一个古老的基础问题,在等离子体隐身等方面也有重要的应用.目前关于该问题的研究方法包括磁离子理论、WKB方法、平面波展开法、有限差分方法(FDTD),这些方法中等离子体都被视为色散介质.然而对于微波与弱电离非平衡等离子体相互作用过程,由于等离子体的介电系数不能准确的给出,因此上述方法的可靠性不高,更合适的方法是采用第一性原理出发的PIC/MC(Particl
会议
引言带电粒子在不均匀背景磁场中的运动行为是磁化等离子体研究的一个重要方面.对于空间弱不均匀的稳恒磁场,带电粒子的导心有梯度漂移、曲率漂移和Ban(o)s漂移等运动.另一方面,在选定了导心局部坐标系后,相应的带电粒子回旋相位的变化率除了包含熟悉的动力相位外,还包含另外两部分:一部分由标架旋转不对易性产生,称为第一几何相;另一部分形式上与Ban(o)s漂移非常相似,称为第二几何相.本文从非惯性系的角度
会议
引言感性耦合等离子体具有等离子体密度高,放电气压低,装置简单,均匀性好等优点,因此在工业上得到了广泛应用.ICP源具有两种放电模式,E模式和H模式,随着外界输入参数的变化,会发生明显的模式跳变,从而引起等离子体特性发生突变,对等离子体刻蚀和薄膜制备工艺产生重要的影响.因此,系统研究ICP的模式跳变行为具有重要的指导意义.
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引言大气压冷等离子体射流作为一种新的大气压低温等离子体发生装置受到了国际上等离子体研究领域的各种关注.由于具有无需真空装置,操作简单,低成本;无废气,无污染;活性粒子密度高等优点,因此无论是在传统的材料制造、加工和改性等应用领域,还是在新兴起的生物医学、环境工程等领域,等离子体冷等离子体射流都表现出良好的应用前景.目前对大气压冷等离子体的研究大部分集中在等离子体射流在放电空间上的传播机理上,然而对
会议
引言氧气容性放电广泛应用于光刻胶的灰化,聚合物膜的清除以及薄膜氧化物的沉积等微电子工业中.在电负性放电中,由于负离子的存在,一些显著的放电特性一定会对电子反弹共振加热产生明显的影响,反过来,反弹共振加热引起的电子能量分布的改变会影响放电动力学过程,比如解离、激发和电离过程.因此,研究电负性氧气放电中电子反弹共振加热的特性具有重要的理论和实际意义.
会议
关于磁化等离子体鞘层尽管有了很多相关工作,但对鞘层结构的研究还不是十分完善.在强磁化等离子体情况下,由于洛伦兹力的作用使得离子的速度存在较大的剪切,因此粘滞效应不可忽略,已有的关于磁化等离子体鞘层的研究尚未考虑粘滞对鞘层的影响.