【摘 要】
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半导体微型加速度计梳关感测微结构之周遭流场，为一个二维、时变、不可压缩、具周期性边界条件之Ｈ－Ｓ偏微分方程问题，该文具解析解。但由于尺寸缩小之关系，扩散效应极为显著，故该速度
【机 构】
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大学机械工程学系大学应用力学研究所
【出 处】
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第二届海峡两岸航空航天技术暨流固耦合学术研讨会
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半导体微型加速度计梳关感测微结构之周遭流场，为一个二维、时变、不可压缩、具周期性边界条件之Ｈ－Ｓ偏微分方程问题，该文具解析解。但由于尺寸缩小之关系，扩散效应极为显著，故该速度场之偏微分系统，可藉雷诺数趋于渐近展开理论描述之。该文以复数平面之分离变数法，处理速度场之零皆热扩散偏微分方程组，除了得到枋状结构周遭之近似流场外，普进一估算其续振因子与阻尼比，可作为微型加速度计动态性能预测之依据。
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