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会议论文
六氟化钨中杂质含量的测定
六氟化钨中杂质含量的测定
来源 :全国特种气体第十六次年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangshuyunhuiming
【摘 要】
:
介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法
【作 者】
:
ZHENG Qiuyan
WANG Shaobo
LI Xiangyu
郑秋艳
王少波
李翔宇
ZHUANG Hongtac
YANG Kang
FANG Hua
庄鸿涛
杨康
方华
ZHOU Pengyun
周朋云
【机 构】
:
The 718th Research Institute of CSIC,Handan 056027,China
【出 处】
:
全国特种气体第十六次年会
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
四氟化碳
杂质
离子化检测器
方法验证
光谱检测器
傅立叶红外
一氧化碳
四氟化硅
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介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。
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