掺锡二氧化硅玻璃薄膜制备与测试

来源 :2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zwx2738
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通常所说的玻璃材料的光敏性,主要是指某些玻璃材料受光照作用后,其折射率会产生持久稳定的变化。目前利用玻璃材料的光敏性,可以制作出大量基于折射率调制的光子学器件,这些器件已经广泛应用于光通讯及光传感等等各个领域。最近的研究也指出,通过掺一些诸如Ge和Sn之类的元素,可以增加某些玻璃材料其对光的折射率。通过化学气相沉积法和溶胶凝胶法制得掺二氧化锡的二氧化硅薄膜,其光致折射率大约为10-1和10-4叫量级。而为了使薄膜达到一定的厚度,使其满足平面波导的条件,可以通过增加拉膜次数来提高其膜厚。溶胶凝胶法制膜所用的前驱物为金属醇盐或无机盐。实验中使用正硅酸乙酯做为金属醇盐,无水乙醇为溶剂。制得溶胶后,选用浸溃法拉膜,在拉膜的过程中,提拉速度控制在lOcm/min。而后通过电阻炉进行加热致密,重复以上步骤就可以得到具有一定厚度的薄膜样品。
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