LIGA技术之微电铸镍研究

来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwertyuiopgfdsa
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运用电化学测量方法,初步揭示了深层微电铸电化学反应过程的本质特点,改造完成了一套半自动多用途连续电铸设备,成功实现了深宽比大于20的微细短线条和直径10μm微细深盲孔的镍电铸.
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