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本文利用扫描电镜X射线衍射(XRD)和X射线能谱(EDS),对高功率行波管收集极中BeO的表面进行了形貌观察、微结构和成分的分析表征.
高功率行波管收集极中BeO瓷的表面分析
【摘 要】
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本文利用扫描电镜X射线衍射(XRD)和X射线能谱(EDS),对高功率行波管收集极中BeO的表面进行了形貌观察、微结构和成分的分析表征.
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)
【出 处】
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第十二届全国电子显微学会议
【发表日期】
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2002年期
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