【摘 要】
：
本文基于紫外激光微加工技术,从玻璃材料的特点与激光精密加工的优点出发,用紫外激光器(A=355rim)在玻璃基体上加工MOX传感器微通道.文章对这种方法进行了初步探索,分析了不同频率下的激光光束对玻璃表面、盲槽底部、振镜接纹处和槽深宽的影响.紫外激光在精细加工领域具有独特的优势，应用前景广阔。激光加工玻璃的过程，需要从热学效应和光化学效应以及力学效应等方面进行考虑。本文在实验的基础上对比了不同激光
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所 北京100190 北京大学 北京100871
【出 处】
：
第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文基于紫外激光微加工技术,从玻璃材料的特点与激光精密加工的优点出发,用紫外激光器(A=355rim)在玻璃基体上加工MOX传感器微通道.文章对这种方法进行了初步探索,分析了不同频率下的激光光束对玻璃表面、盲槽底部、振镜接纹处和槽深宽的影响.紫外激光在精细加工领域具有独特的优势，应用前景广阔。激光加工玻璃的过程，需要从热学效应和光化学效应以及力学效应等方面进行考虑。本文在实验的基础上对比了不同激光脉冲频率对玻璃表面、盲槽底面、振镜拼接处以及槽深宽的影响。激光加工工艺参数较多，不同参数间的匹配会对加工质量产生较大影响，所以后续针对玻璃以及其他材料的加工，需要进行大量的实验，优化各加工参数。
其他文献
LUT作为FPGA结构的核心单元,国内外对其结构的研究从未间断过。然而,对于不同LUT结构的定量评估却困难。传统上是通过修改映射工具,根据映射之后的结果来进行评估。因此,传统的评估方法灵活性很差。本文给出了一种量化研究方法,并利用该方法对传统LUT和可拆分LUT结构进行了评估。同时,提出了一种级联可拆分LUT结构,评估结果表明该结构能够实现的逻辑功能是传统LUT结构和可拆分LUT结构的两倍。
本文提出了一种适于码率自适应的LDPC码译码器的硬件结构优化方法。本优化方法是常规均匀硬件量化的基础上,提出了修正化Min-Sum译码算法中的数据信息初始化及动态迭代的自适应量化结构,降低了DVB-S2中的LDPC码译码时存在的校验节点运算单元与变量节点运算单元之间的复杂度不平衡,并由此提高了译码器的译码性能。实验证明,以DVB-S2标准中LDPC码中码长为16200,码率为1/2的为例,本文方案
配电系统是电网与用户用电设备联络的枢纽,是电力系统的重要组成部分.随着近年来国家对配网投资力度的不断加大和对低压台区用电的重视,如何对未来居民低压台区电网内负荷变化的趋势及负荷特性进行研究和预测,准确把握区域配电网负荷增长的趋势,从而有针对性的用好配网投资资金,正确制定配网建设及低压台区改造方案,实现投资效益最大化,已经成为各级电力企业的主要研究方向.气温因素是影响台区负荷一个重要因素,负荷与温度
馈线自动化是配电自动化的核心功能,馈线自动化能够实现配电网故障的快速研判,保证配电网故障的快速隔离和非故障区域快速恢复供电,从而提高供电可靠性.本文主要分析了集中式FA、广域保护智能分布式FA、基于区域控制的分布式FA (馈线自动化)实现方式、优缺点,论述了在扬州一流配电网综合建设与管理示范区建设中,依据不同区域的供电可靠性要求,同时考虑经济性,在城市核心区域、一般区域、农村区域馈线自动化的选型方
随着电力市场的不断发展,电量预测及分析日益成为电力企业发展决策的关键依据,本文通过分析短期电量预测对电网精益化管理的重要意义,对比常用的几种电量预测方法的原理和优缺点,创新提出将移动加权平均算法应用于短期电量预测.通过将该方法应用于连云港地区的电量预测发现,该预测方法简单易行,预测效果较其他方法更加准确、高效,为电量预测技术人员提供了极大方便.
洞库特型油罐具有结构复杂、容量大、测量精度要求高、测量条件困难等特点,在军用油料存储中有着广泛的应用,基于智能全站仪的在线自动测量技术较好地解决了洞库特型油罐容积标定的要求,基于此背景开展了GJB 8079-2013规范的制定,对智能全站仪测量洞库异型罐容积的流程、方法、不确定度等内容进行了详细的分析。得出了以下结论：（1）洞库异型罐容积标定的核心工作是水平截面测量及其计算，水平截面测量精度和密度
储油罐底板变形引起的罐容差,是目前油品储存和运输企业一个急需解决的问题。本文通过空罐状态下测得的容积表和实罐状态下测得的容积表做比较,分析得出了不同液位高度时的容积差值和底板随液位高度变化的规律。同时也得了不同液位高度时罐体倾斜度的变化,研究结果为实罐状态下罐容的修正提供了很好实际借鉴经验,研究结果表明经过修正的罐容表精度也有很大的提高。
依据JJG196-2006《常用玻璃量器》检定规程对10mL 单标线吸量管测量审核结果的不确定度进行分析。通过称量被测量器内量入和量出介质（纯水）的表观质量值，并根据该温度下介质的密度进行计算，即得到20℃时实际容量。从容量测量重复性、读数、水质量等方面引起的标准不确定度分量进行分析，指出对测量结果不确定度贡献度比较大的分量是：容量测量重复性、空气密度和水密度测量。因此，在日常检定过程中要严格按检
采用一种具有强氢键酸性和偶极性的聚硅氧烷材料:聚甲基-{3-[2-羟基-4,6-二(三氟甲基)]苯基}-丙基硅氧烷(DKAP)作为敏感膜,以气喷工艺在434MHz声表面波(SAW)器件上制膜,对200ppb到1ppm的2,4-二硝基甲苯(2,4-DNT)进行了检测,测试结果表明:在2,4-DNT浓度为200ppb时,DKAP膜频率响应值高达4.6kHz,且吸附和解析速度比其他氢键酸性敏感材料都快,
以半导体电阻作为压阻式压力传感器的敏感元件,相较于金属电阻有更高的灵敏度,但芯片上电桥中的电阻需要通过金属电极引出,然后封装成为器件,这便存在电极处金属与半导体的接触问题,要保证传感器工作的灵敏度与稳定性,电极处需要获得良好的欧姆接触.本文针对硅压阻式压力传感器,使用退火的热处理方法,改善了电极处的接触电阻,使器件单臂测量电阻在0.5V以上工作电压时基本稳定,随电压变化率0.20％/V.实验发现退