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本研究以电浆电弧做为加热源来蒸发钨靶材，藉由气凝合成机制以及一套吹气装置制备W5O14奈米棒，进1步探讨W5O14奈米棒之气体感测特性。实验过程中，使用氩气(Ar)添加10％的氢气(H2)作为电浆气体，并在电流90A以及腔体压力400 torr下蒸发钨靶材。研究结果显示，在电浆气中加入10％氧气可成功地制备具有单晶结构的W5O14奈米棒，其品格间距(d－spacing)为0.38nm，且W5014奈米棒会沿着[010]方向成长，而W5O14奈米棒长宽比(aspect ratio)之比例为12.7。透过参敷作佳化的设计，发现W5O14奈米棒於48小时300℃的熟理条件下具有良好的熟稳定性；针封氟髓感测研究方而结果显示：W5O14奈米棒在感测温度为200℃下封低湿度(1—4ppm)的NO2氟髓具有良好的感测件质，随着氟髓湿度的增加其感测之霞敏度也会呈缘件成长。