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该文介绍了最近为用户研制的一台MPS-2050C,5kW/2450MHz微波等离子体CVD实验加工系统,它包括一台5kW高稳定计算机程控微波源,带智能销钉调配器的高性能微波传输系统,下注式(Downstream)微波反应腔,带多功能端口等离子体放电腔,以及四路气体MFC和相应的真空系统,该系统主要用于中等压强条件下高质量金刚石薄膜等多种材料的化学气相沉积(CVD),表面清洗和改性等多种用途,经初步试用系统性能良好。