【摘 要】
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叉指换能器(IDT)是声表面波(SAW)器件的一个重要组成部分,本文分别采用δ函数模型、等效电路模型和耦合模模型对其进行建模仿真:根据器件的压电性、叉指换能器结构及其中传播
【机 构】
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浙江大学,生物医学工程与仪器科学学院,生物传感器国家专业实验室,生物医学工程教育部重点实验室,杭州,310027中电科技德清华莹电子有限公司
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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叉指换能器(IDT)是声表面波(SAW)器件的一个重要组成部分,本文分别采用δ函数模型、等效电路模型和耦合模模型对其进行建模仿真:根据器件的压电性、叉指换能器结构及其中传播的声波的特点,分别建立三者的数学模型,然后在MATLAB中进行仿真,最后得出了较为一致的结果,同时比较了三者的特点,对声表面波传感器的叉指换能器设计具有指导意义.
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