声表面波驱动的微型马达研究

来源 :中国声学学会2001青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yush2000
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本文是声表面波驱动的微型马达的实验研究以及工作原理的理论分析,并进一步指出该马达小型化的可能性及遇到的问题.
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