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ＴａＣｌ<,5>－Ｈ<,2>－ＨＣｌ体系化学气相沉积钽的动力学
【机 构】
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北京科技大学
【出 处】
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1994年全国冶金物理化学学术会议
【发表日期】
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1994年期
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