AD喷涂技术

来源 :2006年中国西安热喷涂在工业中应用技术交流研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:litian
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AD喷涂(AerosolDepositionMethod)是一种新近开发的表面涂层制备方法,属于热喷涂技术范畴.AD喷涂由低真空沉积室,喷咀,粉末雾化室,机械真空泵等组成.AD喷涂具有沉积温度低(室温),沉积率高,涂层密度高,结合强度高等优点.AD喷涂的一个突出的应用就是制备铁电薄膜陶瓷涂层,如PZT(Pb(Zr,Ti)O3).AD喷涂制备的PZT涂层成分均匀,且由于沉积中的液相烧结机理而致密化.退火处理可以很好地提高PZT涂层的铁电特性.载流气体种类对PZT涂层的结合强度没有明显影响.
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