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-MEMS膜开关是二十世纪九十年代发展起来的一种新型的开关结构,它由一个受直流偏压控制的薄金属膜构成.MEMS开关特性由开关结构的参数和频率决定.在这篇文章里,通过应用有限元分析法确定了工作频率在38GHz的单一MEMS开关的结构参数.
基于CPW的MEMS开关的有限元分析
【摘 要】
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-MEMS膜开关是二十世纪九十年代发展起来的一种新型的开关结构,它由一个受直流偏压控制的薄金属膜构成.MEMS开关特性由开关结构的参数和频率决定.在这篇文章里,通过应用有限
【机 构】
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北京理工大学电子工程系微电子研究所
【出 处】
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2003全国微波毫米波会议
【发表日期】
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2003年期
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