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本文运用Si的1sNEXAFS实验谱对SiH4在Cu(111)面的低温吸附及分解进行了系统的理论研究地，通过MSC(多重散射团簇)理论计算分析表明,在110K时,SiH4已经开始在Cu表面分解为SiH3,分解产物吸附在Cu(111)面的fcc三度空位上。
SiH4在Cu(111)的X射线吸收近边精细结构研究
【摘 要】
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本文运用Si的1sNEXAFS实验谱对SiH4在Cu(111)面的低温吸附及分解进行了系统的理论研究地，通过MSC(多重散射团簇)理论计算分析表明,在110K时,SiH4已经开始在Cu表面分解为SiH3,分解产物吸附在Cu(111)面的fcc三度空位上。
【机 构】
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浙江杭州浙江大学物理系,310027 硅材料国家重点实验室,杭州,310027
【出 处】
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华东三省一市第三届真空学术交流会
【发表日期】
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2000年4期
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