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Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的制备、性能及砂粒冲蚀磨损失效机理
【机 构】
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华南理工大学材料科学与工程学院,广州 510641
【出 处】
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2013广东材料发展论坛暨战略性新兴产业发展与新材料科技创新研讨会
【发表日期】
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2013年期
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