【摘 要】
：
采用射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法以甲烷气体为碳源,在玻璃基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜作为保护层,并研究低气压(0.1～2.6Pa)沉积条件下薄膜的结构、氢含量、表面形貌、光学常数与摩擦磨损特性.结果表明,薄膜的拉曼光谱呈现典型的类金刚石结构,推断薄膜中氢元素含量随气压升高先减小再增大.椭偏分析结果表明薄膜的折射率与消光系数均随气压升高先增大再减小,与氢元素含量呈现相反的变化趋势
【机 构】
：
中国建筑材料科学研究总院,北京100024;国家玻璃深加工工程技术中心,北京100024;绿色建筑材料国家重点实验室,北京100024
论文部分内容阅读
采用射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法以甲烷气体为碳源,在玻璃基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜作为保护层,并研究低气压(0.1～2.6Pa)沉积条件下薄膜的结构、氢含量、表面形貌、光学常数与摩擦磨损特性.结果表明,薄膜的拉曼光谱呈现典型的类金刚石结构,推断薄膜中氢元素含量随气压升高先减小再增大.椭偏分析结果表明薄膜的折射率与消光系数均随气压升高先增大再减小,与氢元素含量呈现相反的变化趋势.薄膜表面光滑平整,粗糙度仅为3A左右,且随气压升高而增大,其中0.13Pa、200W、甲烷流量为80sccm时制备的DLC薄膜具有最佳的耐磨性能,对玻璃基体起到良好的保护作用.
其他文献
针对自动气象站的工作原理和通信特点,吉林省现有国家级自动气象站55个,大多数分布在县级,由于县级专线通信系统运行不稳定,经常因为数据线路故障影响气象观测数据传输.将自动气象站实时监测软件数据通信接口和3G无线宽带网络相结合,利用3G技术实现自动气象站观测数据正常传输,保障气象资料连续性,提高天气预报、气象服务和防灾减灾能力.
福建省气象信息网是福建省气象部门内部的气象信息共享网站,在全省已推广应用多年.网站采用当下较先进的网络技术,实现可扩展、可管理的平台架构;在内容编排方面,结合业务需求,整合各类气象服务产品和业务信息,搭建各级业务人员的快速浏览平台.
基于西昌探空站L波段探空系统与59-701型探空系统的对比观测资料的分析,结果表明,两套系统对温度、高度、风向、风速的观测差异不大,但相对湿度的观测值差异较大,且随着高度的增加而加大.对各时次温度、高度、相对湿度、风向、风速的t检验结果表明,L波段系统与59-701系统观测的温度、高度、风向、风速资料无显著性差异,观测仪器的换型并没有对其资料的均一性造成影响.而部分相对湿度观测资料未通过t检验,有
本文概述了真空玻璃产业化现状,分析真空玻璃备受关注的原因,指出当前真空玻璃产业化面临的技术瓶颈,提出控制真空玻璃质量是实现产业化的关键,希望政府及相关部门加强对行业发展的引导和监管,企业应加强自律,使真空玻璃产业化健康发展.
设计了达到截止蓝光目的的膜系,并采用磁控溅射镀膜工艺,以TiO2和SiO2作为介质膜,通过优化工艺参数,在玻璃基片成功制备了具有截止蓝光特性的功能复合薄膜.用XPS表征了TiO2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比,用NKD-7000分析了薄膜的光学参数,用FTIR分析了SiO2薄膜的结构,采用FESEM分析薄膜表面形貌,用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性透过的特性,分析了影响截止蓝光镀膜玻璃性能的
采用溶胶凝胶法,以钛酸四丁酯,乙酰丙酮和水杨酸做前驱体,溶于乙醇,在石英基板上旋涂后通过900℃退火处理,制备了电阻率低至-1×10-2Ω·cm的TiO2-C复合薄膜.复合薄膜中TiO2处于非晶态,石墨结晶C镶嵌其中起到了提高导电性的结果.通过高分辨透射电子显微镜和拉曼光谱等研究了复合薄膜的结构,并且研究了热处理时间对复合薄膜结构和性能的影响.
本文重点介绍一座以石油焦粉为燃料的大型蓄热式马蹄焰窑炉的设计特点.介绍窑炉设计过程中窑炉各部位结构,材料的选型和匹配,窑炉钢结构的优化,窑炉节能、烟气处理方面的内容以及石油焦燃料的特点和燃烧系统工艺.
采用常压化学气相沉积法(APCVD)在浮法玻璃生产线上直接制备低辐射镀膜玻璃(在线LOW-E)具有产量大、成本低、膜层硬度大、耐久性强等优点.但由于镀膜是在移动的玻璃板上进行的,镀膜工艺必须与浮法玻璃生产线相匹配,使得各项工艺参数的操作和优化难度很大.除了优良的光电性能和大面积均匀性的要求之外,还要有较高的膜层生长速率和反应气体利用率,为此,需要对镀膜过程的热力学和动力学有深入的了解.本文对反应气
以四异丙醇钛为前驱体,采用浮法在线常压化学气相沉积(APCVD)法大面积均匀制备了TiO2透明易清洁薄膜.运用X射线衍射、场发射扫描电镜、原子力探针显微镜、透射电子显微镜、椭偏仪等测试方法研究了不同前驱体浓度对TiO2薄膜微结构、可见光透过率和光诱导亲水性的影响规律.研究结果表明TiO2薄膜只存在锐钛矿相,前驱体浓度在0.44％～1.76％之间,随着前驱体浓度的提高,薄膜的结晶性能逐渐提高,薄膜厚
采用溶胶凝胶方法结合两种不同热处理工艺制备高浓度掺杂TiO2:Nb薄膜,随后将制备好的薄膜在氢气气氛下700℃退火.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱等手段研究了薄膜的结构、组成、微观形貌等信息.研究结果表明,掺杂Nb原子取代Ti晶格后促进了TiO2的n型导电性,使TNO薄膜具有透明导电功能.经氢气退火后锐钛矿相(101)衍射峰明显增强,TiO2:Nb薄膜的结晶性能更为优异.证明氢气退火有利