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X射线光谱仪是空间和实验室高温等离子体诊断的一种重要的工具,其色散元件是X射线衍射的关键器件。通过特定工艺对晶体表面进行处理,能够提高晶体对x射线的衍射效率。将PET、Mica、α-石英和LiF晶体劈成80mm×10 mm的晶体薄片,其中LiF晶体厚度研磨为1mm,其余三种晶体厚度为0.2mm。将LiF晶体加热到400℃,然后用折弯机进行弯曲,在空气中降到室温,使其发生位错现象。在波长为0.154mm的X射线衍射仪上进行试验,经晶体后获得X射线衍射谱线,其中Mica球弯晶获得多级衍射线,经过表面处理的LiF晶体获取的X射线强度比未处理的高2倍。结果表明晶体表面经过处理后更适合高能X射线诊断研究。