【摘 要】
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本文采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃基底上制备镉掺杂氧化锌(Zn1-xCdxO)薄膜,研究镉掺入量(x=0~1)和热处理工艺对薄膜结构及其光学透过、电阻率性能的影响.XRD结果表明,当x≤0
【机 构】
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武汉理工大学,硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉,430070
【出 处】
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2014中国溶胶-凝胶学术研讨会暨国际论坛
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本文采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃基底上制备镉掺杂氧化锌(Zn1-xCdxO)薄膜,研究镉掺入量(x=0~1)和热处理工艺对薄膜结构及其光学透过、电阻率性能的影响.XRD结果表明,当x≤0.3时,Zn1-xCdxO薄膜以六角纤锌矿结构为主;当x>0.3时,Zn1-xCdxO薄膜以立方晶相为主.当预处理温度高于150℃时,Zn1-xCdxO薄膜定向生长.紫外可见透过光谱测试表明Zm-xCdxO薄膜在可见光范围内透过率高于80%;随着x增大,薄膜透过率略有减小.随着x增大,Zn1-xCdxO薄膜的禁带宽度逐渐由3.3 eV (x=O)减小至2.2 eV (x=1).当x=0.8时,Zn1-xCdxO薄膜电阻率为4×10-3 (Ω·cm).
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