氦质谱检漏仪现场校准方法研究

来源 :第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangzhengm
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目前,用户只采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,不能对其进行全量程范围校准.为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式,其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量。
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