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随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础.
YSZ耐刻蚀涂层制备技术的研究
【摘 要】
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随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础.
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 中科院微电子所,北京,100029
【出 处】
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2015年全国粉末冶金学术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会
【发表日期】
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2015年5期
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