高功率半导体激光器的单光纤耦合输出

来源 :2010年全国半导体器件技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:armstronger7026
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设计并研制了一种多线阵半导体激光器的高亮度光纤耦合输出模块。激光器芯片采用MBE方法生长的宽波导、双量子阱结构的AlGaAs/GaAs激光器外延材料,激光器模块采用6只准直的厘米条线阵半导体激光器,器件腔长为1.2mm,单发光区宽度100μm,发光周期500μm。 单条器件包括19个发光单元,单条器件的连续输出功率为50W,每只单条器件的准直输出光束经过空间合束后再通过光束对称化变换实现了多线阵器件输出的高光束质量功率合成。采用平凸柱透镜实现了合束光束与400 μm芯径、数值孔径0.22石英光纤的高效率耦合,整体耦合效率达到65%,最大耦合输出功率达到195 W,光纤端面功率密度达到1.55×105 W/cm2。
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