采用溶胶凝胶法在硅片衬底上制备ZnO籽晶层,然后采用水热法制备ZnO薄膜,最后采用光还原法在ZnO薄膜表面负载Ag纳米颗粒,光照时间分别为30 min,60 min和90 min。用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外可见分光光度计、光致发光、霍尔效应测试仪和电化学工作站等测试样品的微结构、表面形貌、光学性能和电学性能。结果显示,ZnO薄膜呈六角纤锌矿结构,随着光照时间的增加,XRD图谱中出现了Ag的衍射峰。由图1可以看出,大量类球形纳米Ag颗粒均匀地分布在ZnO六角柱状颗粒上,薄膜表面Ag纳米颗粒的尺寸随光照时间增加逐渐增大。随着光照时间增加,紫外吸收边略有红移。样品中均出现较强可见光发射带和相对较弱的紫外发射峰,随着光照时间增加,紫外发光带减弱,而可见光发射强度有所增强,说明薄膜中缺陷浓度增大。薄膜的电阻率随Ag负载量增加而逐渐减小。未负载Ag纳米颗粒ZnO薄膜的阻抗谱曲线。由图2可以看出,Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜阻抗谱曲线的曲率半径远小于ZnO薄膜的曲率半径,该结果表明,适量的Ag纳米颗粒负载于ZnO薄膜表面将有助于提高光生电子空穴对的分离效率,增强载流子的传输能力。