【摘 要】
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An athermal arrayed-waveguide grating (AWG) multiplexer relying on an all-polymer approach was designed fabricated by simple direct Ultraviolet photolithography
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Jilin University Region, Qianjin Street 2699, Ch
【出 处】
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第七届全国塑料光纤与聚合物光子学会议
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An athermal arrayed-waveguide grating (AWG) multiplexer relying on an all-polymer approach was designed fabricated by simple direct Ultraviolet photolithography process. By properly adjusting the positive coefficient ofthermal expansion of the polymer substrate and the negative thermo-optic coefficient of the polymer waveguide, athermal and polarisationindependent AWG devices are demonstrated. The new technique will be well suited for fabricating optical integrated circuits (OICS).
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