【摘 要】
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软磁薄膜材料与器件是近期国际国内电子器件实现“小.轻.薄.精”的热点.本文报道了高性能软磁薄膜的溅射工艺,纳米晶化和性能改进的途径.基于已研制的Fe基、Co基纳米晶软磁薄膜,成功制备出薄膜变压器和电感器,使绕组、磁芯、绝缘膜层全薄膜化.薄膜变压器的初级电感在0.5～0.6μH之间,次级电感0.3～0.4μH之间,工作频率f<20MHz.
【机 构】
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电子科技大学信息材料工程学院(成都)
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
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软磁薄膜材料与器件是近期国际国内电子器件实现“小.轻.薄.精”的热点.本文报道了高性能软磁薄膜的溅射工艺,纳米晶化和性能改进的途径.基于已研制的Fe基、Co基纳米晶软磁薄膜,成功制备出薄膜变压器和电感器,使绕组、磁芯、绝缘膜层全薄膜化.薄膜变压器的初级电感在0.5～0.6μH之间,次级电感0.3～0.4μH之间,工作频率f<20MHz.
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