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我们已经生长出质量极高的长波、甚长波超晶格材料,XRD 表明长波、甚长波p-i-n 型器件结构的X 射线双晶衍射卫星峰半高宽分别为17 和21 弧秒,应变都在10-4 量级,两个器件在77K温度下,50%截止波长分别为9.6 微米和14.5 微米[1,2].最近我们向更长波长进行拓展,采用特殊的界面设计,生长出质量极高的超晶格材料,XRD 测试表明,超晶格的零级峰与衬底峰几乎完全重合,超晶格半高宽为21.6 弧秒,表明我们器件结构具有非常好的晶体质量.已经成功研制出77K 温度下,50%截止波长为17 微米的甚长波红外探测器单管.