【摘 要】
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Heavily Nb-doped SrTiO3 (STNO) heteroepitaxial films have been successfully grown on (001) LaAlO3 (LAO) single crystal substrate by ion beam deposition method with a microwave ion source.
【机 构】
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Department of Materials, Physics, and Energy Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya Uni
【出 处】
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2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议
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Heavily Nb-doped SrTiO3 (STNO) heteroepitaxial films have been successfully grown on (001) LaAlO3 (LAO) single crystal substrate by ion beam deposition method with a microwave ion source.
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