【摘 要】
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反射差分光谱(RDS)是上世纪80年代中期Aspnes[1]等人在椭圆偏振光谱仪的基础上发展而来的一种测量平面光学各向异性的一种有效手段.微区反射差分光谱(μRDS)在RDS的基础上,通
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,北京市100083
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反射差分光谱(RDS)是上世纪80年代中期Aspnes[1]等人在椭圆偏振光谱仪的基础上发展而来的一种测量平面光学各向异性的一种有效手段.微区反射差分光谱(μRDS)在RDS的基础上,通过增加一个物镜形成一套灵敏度和分辨率很高—横向分辨率可以达到衍射限,深度分辨率为纳米量级—快速、无损,而且操作和分析都相对简单的实验方法.
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