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纳米薄膜厚度及光学常数的测量方法研究--椭偏光度法
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,安徽合肥230026中国科学技术大学物理实验中心,安徽合肥230026
【出 处】
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2013全国表面分析科学与技术应用学术会议
【发表日期】
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2013年8期
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