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在分析影响电感性能的各因素后，对微波系统中常用的4 nH电感进行了具体的计算和模拟，给出了在2 GHz工作频率下的优化结构，并提出了该微机械平面螺旋电感的工艺设计。设计结构保证电感在该工作频率下有较高的Q值，工艺流程与硅CMOS工艺兼容。
4nH硅微机械电感研究
【摘 要】
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在分析影响电感性能的各因素后，对微波系统中常用的4 nH电感进行了具体的计算和模拟，给出了在2 GHz工作频率下的优化结构，并提出了该微机械平面螺旋电感的工艺设计。设计结构保
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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