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制备工艺对MOCVD法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜结构及性能的影响
【机 构】
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北京航空航天大学 材料学院,空天材料与服役教育部重点实验室,北京 100191
【出 处】
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第七届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2010年5期
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