用多弧离子镀技术制备TiN/Ni纳米复合超硬镀膜

来源 :中国机械工程学会2008年机械装备结构材料与表面技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chairsszj
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采用多弧离子镀技术,通过改变镍靶电流及其开启的时间,在高速钢基体上沉积出不同镍含量的TiN/Ni复合镀膜;用SEM、AFM、XRD和显微硬度计对该镀膜的显微形貌、相组成和显微硬度进行了观察和测试;且对TiN/Ni纳米复合镀膜的超硬机理进行了探索。结果表明:随着镍含量的增加,晶粒逐渐细化并达到纳米级尺寸;镀膜硬度与镍含量密切相关,当镍含量为1.4%时,硬度最高为47 GPa。
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