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软X射线多层膜光学元件是X射线激光和惯性约束核聚变(ICF)实验中的重要器件,针对软X射线激光干涉实验的需要,开展了13.9nmX射线激光麦克尔逊干涉仪用Mo/Si分束镜的研究,得到了较高的反射率和透过率.为了拓展软X射线多层膜的应用范围,研制了软X射线超反射镜,取得了较好的结果,还研制了4.48nm短波长X射线高反射镜,并取得了初步的结果.