阳极氧化法制备Nb2O5多孔薄膜

来源 :第十一届全国应用化学年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:king_63427501
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采用恒压阳极氧化法在室温下制备多孔Nb2O5薄膜,研究了电解液种类及氧化电压对Nb2O5纳米孔生成的影响。结果表明,在1mol/LH3PO4/0.5%(质量分数)HF电解液中,电压为15V,阳极氧化1h得剑孔径为20~30nm,膜厚770~790nm的Nb2O5薄膜;在1mol/LH2SO4/1.0%(质量分数)HF电解液中,电压为20V,阳极氧化1h得孔径约为20nm,膜厚320~330nm的Nb2O5薄膜。电解质的种类对多孔Nb2O5薄膜的微观彤貌和膜厚有显著的影响。在1mol/LH3PO4/1.0%(质量分数)HF磷酸/HF电解液中,电压为5V时,没有形成多孔薄膜;电压为15V时,形成孔径约为20nm的多孔薄膜;电压升高到20V时,在多孔Nb2O5薄膜表面出现了锥状形貌的氧化物。通过控制阳极氧化电压可控制多孔膜形貌。
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