外延电阻淬灭型硅光电倍增器的最新研究进展

来源 :2021光电子材料与器件发展论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcc54202346
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  北京师范大学新器件实验室(NDL)一直致力于研制结构紧凑、工艺相对简单的外延电阻淬灭型硅光电倍增器(EQR SiPM),近期为了满足SiPM 在核医学成像方面的应用,NDL 成功研制出微单元尺寸为15μm、有源面积为9mm2 的EQR SiPM 。
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