【摘 要】
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随着微电子器件工艺尺度的不断减小,现有的体材料MOS工艺的局限性不断浮现,利用基于量子力学的新物理效应、新结构的微纳电子器件是设计和实现新一代集成电路的必然选择。对
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院湖北省武汉市430072武汉大学微电子信息与技术研究院北省武汉市430072
【出 处】
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湖北省物理学会、武汉物理学会2013年学术年会
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随着微电子器件工艺尺度的不断减小,现有的体材料MOS工艺的局限性不断浮现,利用基于量子力学的新物理效应、新结构的微纳电子器件是设计和实现新一代集成电路的必然选择。对于物理基地班的学生,学生对基础理论课程的学习能力比较强,但是如何把量子力学、电子器件等课程和物理前沿课题(例如微纳电子器件)研究结合起来,需要强有力的引导。
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