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本文建立三超声波电动机驱动的三维运动平台的驱动控制系统,该系统通过步进定位和连续运行法驱动电机。步进定位法利用极短脉冲激励驱动电机,它具有高位移分辨率,本文首先分析此方法影响定位精度的因素。在连续运行时使用PID控制算法确保电机能够平稳、快速运行到目标位置。采用NUMERIK JENA生产的0.5μm光栅编码器对电机实行闭环控制,实验表明,该平台能够实现平面内的三自由度移动,移动范围在[-5mm，5m；-5mm，5mm]，转动角度在[0，3rad]，其控制精度在1μm之内。该系统广泛应用于精密加工和微纳米操作等研究领域。