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<正>场发射阴极电子源及其应用探索,是真空电子学的重要研究内容之一[1]。与传统热阴极电子源相比,场发射阴极电子源是依靠电场诱导电子隧穿发射,无需吸收外界能量,因此具有功耗低、电子发射响应速度快、发射电子能量集中、工作温区较宽的优点。随着微纳加工技术的发展和场致电子发射物理研究的深入,场发射阴极电子源研究已从材料制备、表征向真空微纳电子器件应用发展,其潜在应用对象也从最初