IC工厂分子污染控制

来源 :第十二届中国国际洁净技术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhao7788
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分子污染控制是一种全方位的服务,是整合工艺、工程与环境的整体考虑,一种跨领域的工程服务。本文介绍了分子污染控制关联概念,浅谈了亚翔对于分子污染控制关联的强化与服务。结合自有空气采样技术,结合CFD的分析能力,帮助客户厘清潜在污染源并提供最终分子污染的控制服务。
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