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本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度敏感表头的设计思路及方法.提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容式微机械加速度计的性能潜力.
微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑
【摘 要】
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本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度敏感表头的设计思路及方法.提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系(北京)
【出 处】
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2003年惯性仪表与元件学术交流会
【发表日期】
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2003年8期
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