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通过醇盐水解制备ＴｉＯ〈，２〉微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器；用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率；用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰，提高其催化活性，采用温度自补偿方法提高了器件的高温性能。
厚膜TiO<,2>研究氧敏传感器
【摘 要】
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通过醇盐水解制备ＴｉＯ〈，２〉微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器；用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率；用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰，提高其催化活性，采用温度自
【机 构】
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交通大学
【出 处】
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中国电子学会气湿敏第四届全国学术交流会
【发表日期】
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1996年期
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