Subli100 Silicon Carbide M-PVT Sublimator

来源 :2011上海半导体材料学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a_hai1983

【摘要】

：

LOW COST HIGH PRODUCTIVITY Seed diameter up to 100mm Temperature: 2000-2400℃ Growth Pressure: 10-400 mbar Carrier Gas: He/H2/Ar-flow: 5slm N-type doping (N2)-f

【作者】

：

Danilo Crippa

【出处】

：

2011上海半导体材料学术年会

【发表日期】

：

2011年12期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

LOW COST HIGH PRODUCTIVITY Seed diameter up to 100mm Temperature: 2000-2400℃ Growth Pressure: 10-400 mbar Carrier Gas: He/H2/Ar-flow: 5slm N-type doping (N2)-flow: 0,5slm P-type doping (TMA)-flow: 0,5slmSchematics of main groups Cooling water

其他文献

传统医学与精准医学

会议

传统医学

补肾活血法在治疗慢性萎缩性胃炎中的应用

会议

补肾活血法治疗慢性萎缩性胃炎

Wafer Works (Shanghai) Corp.N型<100>轻掺单晶OISF改善

会议

WorksShanghai单晶

肾康注射液调控ERK1/2/MMPs信号通路促进肾衰竭模型鼠细胞外基质降解的作用和机制

　　探讨肾康注射液(Shenkang injection,SKI)在体内调控细胞外信号调节激酶(extracellular-signal regulated protein kinase,ERK)1/2/基质金属蛋白酶(matrixmetalloprotein