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本文介绍了一种采用半导体刻蚀的微机械结构反射式光纤传感器,由其感受声音讯号,采用光纤将光投射到该结构上,其随声讯号产生振动,改变了光纤端面和微机械结构之间的距离,从而改变了进入接收光纤的光功率,实现了声音对光的调制,同时从理论上分析了光强调制的原理,并对研制的光纤麦克风系统进行了测试.
光纤微机械集成麦克风研究
【摘 要】
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本文介绍了一种采用半导体刻蚀的微机械结构反射式光纤传感器,由其感受声音讯号,采用光纤将光投射到该结构上,其随声讯号产生振动,改变了光纤端面和微机械结构之间的距离,从
【机 构】
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北京航空航天大学仪器与光电工程学院光电技术研究所,北京,100083
【出 处】
：
全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议
【发表日期】
：
2005年期
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