分子束外延Ⅲ族氮化物场效应晶体管材料

来源 :第六届全国分子束外延学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vener123
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本文报道了使用NH<,3>-MBE技术和PA-MBE在C面蓝宝石上外延高质量GaN以及AlGaN/GaN二准电子气材料的结果.
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