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该文简单地介绍了ＢＳＩＭ１器件模型，给出了采用ＩＣ－ＣＡＰ软件提取模型参数所需的器件结构和测试系统，并针对华晶１．２ｕｍＣＭＯＳ工艺提取了一套ＢＳＩＭ１的模型参数；同时还讨论了这套模型参数用来设计１．２ｕｍＣＭＯＳ模拟电路的可行性。
1.2umCMOS工艺BSIM1模型参数的提取
【摘 要】
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该文简单地介绍了ＢＳＩＭ１器件模型，给出了采用ＩＣ－ＣＡＰ软件提取模型参数所需的器件结构和测试系统，并针对华晶１．２ｕｍＣＭＯＳ工艺提取了一套ＢＳＩＭ１的模型参数；同时还讨论了这套模型参数用来设计１．２ｕｍＣＭＯＳ模拟电路的可行性。
【机 构】
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微电子技术研究所
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年期
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