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针对残余应力作用下硅微谐振梁频率偏移问题,利用分离变量法对两端固支CC(clamped-clamped)Euler梁的频率方程进行了推导.利用二分法对硅微Euler梁的第一阶弯曲模态频率进行了计算.计算结果表明:残余应力作用下,频率方程根γ1<4.730,γ2>4.730.经过27次迭代即可得到谐振频率偏移量,具有较好的收敛性.计算结果与相关文献中的积分近似解相差1.7%.本文的研究可为RF MEMS开关,谐振式硅微压力传感器的动态分析提供力学参考.