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本文研究了EMP对GaAs器件毁伤作用的机理,介绍了GaAs器件在EMP情况下的毁伤阈值和毁伤机理,并用实验验证器件软损伤的可靠性.
EMP对GaAs器件毁伤作用机理研究
【摘 要】
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本文研究了EMP对GaAs器件毁伤作用的机理,介绍了GaAs器件在EMP情况下的毁伤阈值和毁伤机理,并用实验验证器件软损伤的可靠性.
【机 构】
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河北半导体研究所
【出 处】
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2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2005年7期
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