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一种复合镀膜技术与大型装备
一种复合镀膜技术与大型装备
来源 :2005年全国光学技术及其应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yufs80131234
【摘 要】
:
一种由计算机全自动组态控制可实现离子清洁、蒸发镀铝、离子轰击聚合、蒸发镀氧化硅(SiO)、蒸发镀氟化镁(MgF2)等工艺的大型工业真空设备,主要用于汽车灯具反光膜镀制。
【作 者】
:
范多旺
马国欣
【机 构】
:
兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070
【出 处】
:
2005年全国光学技术及其应用研讨会
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
汽车灯具
真空镀膜
反光镀膜设备
组态控制
离子清洁
离子轰击聚合
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一种由计算机全自动组态控制可实现离子清洁、蒸发镀铝、离子轰击聚合、蒸发镀氧化硅(SiO)、蒸发镀氟化镁(MgF2)等工艺的大型工业真空设备,主要用于汽车灯具反光膜镀制。
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