同步辐射软X射线反射率测试装置

来源 :全国第二次同步辐射光束线工程束线光学与新技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heinblue
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该文对建于BEPC同步辐射3B1光束线及3W1B光束线上的同步辐射软X光反射率测试装置进行了介绍。3B1光束线中的反射率测试装置集多层膜单色器与反射率计为一体,采用双重二倍角机构,结构紧凑、使用方法,波长50~200A,角分辨率0.0075°;新建的3W1B光束线采用变线距光栅单色器,波长6.2~248A,与反射率计各成系统,反射率计角分辨0.0025°,二倍角同步扫描电控系统实现完成,除完成样品反射、透射测量外,还可进行探测器的标定,反射率计差分馈入系统保证反射率计箱体可达到10<’8>Torr极限真空,而通过束线的差分系统保证反射率测量及探测器标定在10<’-5>~10<’-6>Torr工作时,不影响束线单色器和前端区的真空。
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